垂直整合
有源区外延工艺
光栅工艺
二次外延工艺
晶圆工艺
自动化芯片测试
芯片高频测试
可靠性测试验证
仅衬底与气体源外购,完全达到外延自主开发与生产;
具备InGaAsP与AllnGaAs双材料外延技术;
具备掩埋型波导外延技术。
全息光栅曝光技术;
电子束相位光栅技术;
100nm纳米级线宽刻蚀技术。
多年外延经验积累,保证多次外延产品良率;
异质对接外延技术;
光器件集成技术;
高效电注入材料实现;
功能性光波导材料实现。
多年晶圆工艺细节积累;
制程参数统计管控。
引进国外全自动芯片测试机,芯片级全测把控;
常温、高温、低温筛选工温级产品(-40~95°C),以测试把控取代设计保证;
光功率、温度敏感参数、光谱、背光、发散角等重要特性参数测试与分析能力;
传纤灵敏度测试系统,提早预判客户端测试效果。
自主CoC封装设计,验证芯片级高频设计;
全温眼图与带宽测试系统,对出货产品严格把控;
RIN 测试系统,稳定产品噪声干扰。
芯片级可靠性验证,逐片考核,精确保证每一片晶圆的出货质量;
气密与非气密老化测试、高温老化测试、双85测试、低温储存、温循测试、ESD、推拉力测试。